高真空擋板閥用在真空管道中角通和三通的地方。驅(qū)動(dòng)方式為手、氣、電磁、電動(dòng)由用戶決定。其中GDC—J型電磁高真空擋板閥為金屬波紋管密封，其應(yīng)用范圍較廣,也可當(dāng)充氣閥用；安裝位置可任意,可反頂一個(gè)大氣壓,并有反饋信號(hào)輸出。
超高真空插板閥用在真空度要求高或管道尺寸要求高的場(chǎng)合。全通導(dǎo)、閥門漏率為10-7Pa.L/S，雙向密封。驅(qū)動(dòng)方式手、氣、電動(dòng)由用戶決定。氣動(dòng)和電動(dòng)均帶信號(hào)反饋裝置。
高真空隔膜閥與高真空球閥為直通式，并能用在正壓和真空并存的場(chǎng)合。驅(qū)動(dòng)方式手、氣、電動(dòng)由用戶決定。
高真空蝶閥為直通形式，手、氣、電三種驅(qū)動(dòng)方式由用戶決定。手動(dòng)蝶閥開啟角度任意可調(diào)；智能型的氣動(dòng)和電動(dòng)蝶閥其開啟角度也任意可調(diào)。
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